Оборудование для нанесения алмазоподобных покрытий серии 1180

Мы выполняем процессы предварительной и финишной обработки, а также нанесения покрытий, предоставляя решения «под ключ». Кроме того, мы предлагаем комплексное предпродажное и послепродажное обслуживание для точного решения любых возникающих вопросов.

Описание продукта:

№	Параметр	Данные
1	Максимальное количество устанавливаемых мишеней	Макс. 6 универсальных интерфейсов; плоские мишени и ионные источники могут быть сконфигурированы по требованию
2	Эффективная площадь нанесения покрытия	Диаметр: 780–920 мм (на выбор); высота основания: 700 мм; другие высоты доступны по запросу, макс. до 2000 мм
3	Грузоподъёмность поворотного стола	800 кг (базовая модель); макс. до 1500 кг
4	Максимальная температура нагрева	350°C
5	Время цикла нанесения покрытия	8–16 часов на одну партию
6	Технические особенности	1. Технология несбалансированного магнетронного распыления в замкнутом поле (UBM)
		2. Интеллектуальная заслонка (SS)
		3. Анодно-слойный ионный источник
7	Применения / типы покрытий	Система нанесения покрытий серии 1180 может наносить такие покрытия, как DLC, GLC, WC/C, CrN, полученный магнетронным распылением, а также комбинации всех перечисленных покрытий.

Оборудование для нанесения алмазоподобного углеродного покрытия серии 1180

Тип покрытия	Особенности	Примеры применения
DLC (алмазоподобное)	Сверхтвердое, гладкое, устойчивое к износу и ударам	Режущий инструмент, подшипники, медицинские инструменты, корпуса мобильных телефонов, детали двигателей
GLC (графитоподобное, Graphite-like DLC)	Гибкое, износостойкое, средняя нагрузка, устойчиво к ударам	Корпуса часов, наушники, ручки, оправы для очков, детали автомобильных двигателей
WC/C (карбид вольфрама)	Чрезвычайно высокая твердость, термостойкость, устойчивость к коррозии, устойчиво к ударам	Детали двигателей, пресс-формы, лопатки авиационных двигателей
Напыление CrN (нитрид хрома)	Золотисто-желтый цвет, устойчивость к коррозии, высокая твердость	Пресс-формы, аэрокосмическая отрасль, химическая промышленность, клапаны, скобяные изделия, декоративные элементы
TiN (нитрид титана)	Золотистый цвет, эстетичный вид, износостойкость	Декоративные элементы, режущий инструмент, медицинские инструменты
TaN / ZrN	Высокая температура плавления, устойчивость к коррозии и окислению	Детали для высокотемпературных сред, военное снаряжение

Серийное производство: Большая вакуумная камера 1180*1100 мм, прочный съемный поворотный стол, максимальная грузоподъемность до 1500 кг, подходит для серийного производства.

Технология UBM: Технология несбалансированного закрытого магнетронного катода

Контролируемая мощная ионная бомбардировка, высокий ионный ток, плотная пленка, высокая адгезия и улучшенные характеристики покрытия.

Технология SS: Интеллектуальная перегородка

Электрически управляемая автоматическая перегородка мишени тщательно удаляет примеси с поверхности мишени, обеспечивая чистоту пленки, предотвращая перекрестное загрязнение между несколькими мишенями и поддерживая стабильное получение многослойных пленок.

Технология ALS: Анодный ионно-поточный источник

Может генерировать большой ионный ток, осуществляя мощное ионное травление и очистку заготовки перед нанесением покрытия, тщательно удаляя оксидный слой и остатки масла с поверхности подложки; ионно-ассистированное осаждение в процессе нанесения покрытия значительно улучшает адгезию между покрытием и подложкой, решая проблему отслаивания покрытия от инструментов и пресс-форм.

Технология MCT: совместимость с многослойными покрытиями

Может производить DLC, GLC, WC/C, CrN и различные многослойные композитные градиентные покрытия; позволяет гибко комбинировать различные процессы нанесения пленочных покрытий, одна машина удовлетворяет потребности в нанесении покрытий на несколько деталей, обеспечивая высокую эффективность использования оборудования.

Весь процесс нанесения покрытия, включая время, мощность, газ, перегородки и источник ионов, контролируется программной блокировкой; производство может быть запущено простым вызовом сохраненных формул.

Технология APC: полностью автоматизированное программное управление исключает человеческие ошибки; каждая партия покрытия демонстрирует превосходную повторяемость по толщине, твердости и адгезии, обеспечивая стабильное массовое производство.

Пять основных преимуществ оборудования DLC: источник ионов анодного слоя

Совместимость с активными углеводородными газами обеспечивает высокую стабильность срока службы. Не требует нити накала или сетки, не подвержен образованию нагара от углеводородных газов, таких как ацетилен, подходит для производственных сред DLC-покрытия, предотвращая образование нагара и износ традиционных нитей и сеток ионного источника, обеспечивая стабильное и надежное непрерывное производство.

Не требует нейтрализатора, низкий уровень отказов и простота обслуживания. Встроенный ионный пучок с электронным балансом исключает необходимость в нейтрализаторе нити накала, уменьшая количество точек отказа оборудования, предотвращая износ нейтрализатора и время простоя, а также снижая частоту технического обслуживания при массовом производстве.

Высокоэнергетический, высокотоковый пучок улучшает адгезию пленки. Высокоэнергетическая, высокотоковая ионная бомбардировка очищает заготовку, удаляя оксидные слои, масляные пятна и примеси, активируя подложку и улучшая качество DLC-покрытия, предотвращая отслаивание и расслоение.

Превосходная ионная поддержка улучшает качество DLC-пленки. Непрерывная ионная бомбардировка в процессе осаждения улучшает структуру пленки, уменьшает количество микропор, повышает плотность и соотношение sp³-пар, что приводит к повышению твердости покрытия, износостойкости и коррозионной стойкости.

Низкотемпературное формирование пленки, широкая область применения, подходит для массового производства. Покрытие может наноситься при контролируемой низкой температуре ≤150℃, совместимо с пластиками, закаленной сталью и другими подложками, не устойчивыми к высоким температурам; линейная структура с широким пучком частиц, что позволяет обеспечить равномерное покрытие больших площадей и больших партий.

Пять преимуществ технологии несбалансированных катодов магнетрона замкнутого контура (UBM)

Улучшенная адгезия пленки к подложке: замкнутое, несбалансированное магнитное поле направляет плазму к заготовке, а ионная бомбардировка активирует поверхность заготовки, значительно улучшая адгезию покрытия и уменьшая отслаивание.

Превосходная стабильность покрытия в большой полости: магнитное поле оптимизирует распределение плазмы внутри полости, что приводит к минимальным различиям в толщине и качестве пленки в разных местах заготовки внутри большой полости, обеспечивая стабильное качество покрытия при крупносерийном производстве.

Распыление без капель защищает режущие кромки: магнетронное распыление устраняет металлические капли, сохраняя острые углы и режущие кромки, что делает его подходящим для прецизионных режущих инструментов и обеспечивает высокое качество поверхности.

Простой процесс для композитных покрытий: стабильное магнитное поле может использоваться с ионными источниками, адаптируясь к различным покрытиям и облегчая изготовление многослойных, чередующихся композитных покрытий, широко применимых к широкому спектру заготовок.